ALICAT氣體質(zhì)量控制器由質(zhì)量流量計傳感器、分流器通道、流量控制調(diào)節(jié)閥、放大控制電路組成。被測氣體分成兩個層流區(qū)，一個通過主流量管道，另一個通過毛細(xì)管。*的設(shè)計確保兩個管路里的流體都是層流狀態(tài)，因此兩個管路的流量比是恒定的。工作時，毛細(xì)管上兩個精確的溫度感應(yīng)繞組被加熱，當(dāng)有流量時，被加熱的氣體從上游到下游流動，在兩個感應(yīng)繞組之間產(chǎn)生了溫差，溫差與電阻的變化成比例關(guān)系。它們在集成電路、材料、石化、環(huán)保、醫(yī)療、分析儀器等多種領(lǐng)域和行業(yè)的科研和生產(chǎn)中發(fā)揮著不可替代的作用。
ALICAT氣體質(zhì)量控制器在使用時有一定的操作規(guī)程和注意事項，在使用的時候必須要注意這么幾點：
一、禁用流量介質(zhì)，使用氣體必須凈化，切忌粉塵、液體和油污。必要時在氣路中加裝過濾器干燥器等。如果儀表出口接有液體原瓶，應(yīng)在流量出口加裝單向閥，防止液體回流損壞儀表。
二、使用腐蝕性氣體，儀表通道材料為0Cr17Ni14Mo2(相當(dāng)于316L不銹鋼)，在用戶系統(tǒng)無水汽、低泄漏、勤清洗、使用得當(dāng)?shù)臈l件下，可測量一般的腐蝕性氣體。使用于氨氣、有機溶劑蒸汽或其它強腐蝕性氣體時，應(yīng)在訂貨時特殊注明，以便更換密封材料。
三、閥門要注意密封，儀表的電磁閥是調(diào)節(jié)閥，不是截止閥，不能當(dāng)截止閥使用，用戶應(yīng)另配截止閥。特別是使用腐蝕性氣體時，通常應(yīng)在儀表進(jìn)出口處各加一個截止閥，以保證安全。長期工作后，如儀表閥口的漏氣率在2%FS以內(nèi)，屬于正常情況。如果漏氣大于滿量程的2%，則應(yīng)予以維修。
四、注意閥控操作，在操作閥門進(jìn)行清洗后，不能直接轉(zhuǎn)至“閥控”位工作，必須先將閥門置于“關(guān)閉”位，然后再轉(zhuǎn)至“閥控”位工作。
五、注意安裝，安裝時盡量保持安裝面水平，但對位置并不特別敏感，可以任意位置安裝，非水平安裝時如發(fā)現(xiàn)零點偏移，可調(diào)整零點后再工作。
六、注意工作壓差，對于儀表要特別注意工作介質(zhì)的氣壓，應(yīng)注意使儀表進(jìn)出氣兩端的工作壓差保持在治標(biāo)范圍內(nèi)。特別是在高壓下工作時，氣壓差過大，流量將無法關(guān)閉或調(diào)小。在使用大流量的儀表時，要注意適當(dāng)加粗管道和減小氣源內(nèi)阻，如工作壓差小于要求值，有可能流量達(dá)不到滿量程值。
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